產品詳情
維持以往高真空閥的可靠度，再增加可實現多種製程的壓力控制功能。
針對所有業界及用途的真空控制新方案。
・高真空閥 ＋ 壓力控制
・可進行全閉動作
・可進行緩慢排氣控制
・高耐久‧使用壽命長
・簡單維修
・因應RoHS指令
・萬全的潔淨度管理體制
