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Components for high vacuum／special gas
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Process gas components
High vacuum components
Integrated gas supply system
製程氣體用調壓閥 PGM
製程氣體用閥 真空產生器VG
製程氣體用 手動閥 OGD、MGD
製程氣體用閥 高耐久型 AGD※※R-HD、AGD※※R-HDF、AGD21R-A
製程氣體用氣動閥 AGD0※R
製程氣體用閥 LGD
高溫用、高耐久氣動閥 AGD21R-A系列
高耐久氣動閥 AGD1※R-HD系列
高真空用手動閥 MVB、MVP
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