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Components for high vacuum／special gas
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Process gas components
High vacuum components
Integrated gas supply system
高真空用氣動閥 AVB、AVP
真空壓力控制系統 IAVB系列
集成化氣體供給系統 IAGD3
集成化氣體供給系統 IAGD5、IAGD4
無塵組件 FICS系列
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